会社のニュース 圧力 を 超え:真空 システム の フレンズ

主要な機能はメタルフレンズプラス圧下での液体を含めるため,彼らは同様に重要な,しかししばしば逆の役割を演じる真空システムこれらのアプリケーションでは,液体の脱出を防ぐのではなく,望ましくない大気ガスがシステムに入ることを防止し,超清潔で低圧環境を確保することです.密封と材料の排気処理の基準がさらに厳格に要求される.

バキュームシステムは幅広い産業において不可欠です

• 半導体製造:超純真空室を作り 薄膜を埋めて マイクロチップをエッチングします 単一の不純物でも 批量を破壊できます
• 宇宙シミュレーション宇宙船の部品を 宇宙に似た条件でテストする
• 研究開発粒子加速器,電子顕微鏡,様々な科学実験は高真空または超高真空 (UHV) 環境に依存しています.
• コーティング技術:物理蒸気堆積 (PVD) のようなプロセスで 硬いコーティングや光学コーティング
• 食品加工冷凍乾燥または真空包装

バキュームシステムにおけるフレンジの特異的な課題

1. 漏れ強度:

   • 圧力システムでは わずかな漏れを許容できるが 真空システムでは 極めて高い密度を要求する真空レベルを大幅に低下させ,プロセスを汚染します.
   • 非常な精度で 精密な機械加工と 真空処理用に設計された 特殊な密封器の使用が必要です

2. 排気:

   • 材料から真空環境に放出される ガスです 材料はすべて,ある程度は,外ガスですこれは汚染の主な源であり,達成可能な真空レベルを制限することができます.
   • フレンズ材料,ガスケット,そしてボルトの潤滑剤でさえ,非常に低排気性能のために選択する必要があります. UHVアプリケーションでは,特定のステンレス鋼 (例えば,304L,316L,塩基配列の塩基配列は,.

3. 焼き出し:

   • 多くの真空システム,特にUHVは,真空下で数百度Cに熱される"焼却"プロセスを受けます.これは排気プロセスを加速します.内部表面から吸収されたガスを排出する低極圧を達成するのに役立ちます.
   • フレンズ,ガスケット,ボルトは 劣化したり変形したりすることなく 焼却温度に耐える必要があります

特殊用フレンジ:

• 固定式 (CF) フレンズ:高精度で加工されたナイフエッジで 柔らかい部分に噛み付きます銅製の密着物密封メカニズムは,ナイフの刃が圧縮されるにつれて銅の密封板のプラスチック変形に依存し,堅固で焼けやすい,非常に漏れを防げる金属対金属密封物を作ります.CFフレンズは,通常,ステンレス鋼で作られています..
• ISO-KFとISO-Kフラング:粗末で高真空のアプリケーションに広く使用されています.エラストメール型OリングCFフレンズよりも組み立て・解体が簡単である一方で,FrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrenchFrench一般的に高温に焼くことができず,CFよりも高い排出率を持っています.超高周波で使用することを制限する.
  • ISO-KF (クロークランプフラングス):細い直径で,しばしば快速組み立てのために爪クランプで使用されます.
  • ISO-K (ボルトフレンズ):標準のパイプフレンズのようにボルト付きです
• カスタム製の真空フレンズ:多くの真空システムには,多くのポートや複雑な幾何学を特徴とする,ユニークなコンポーネントを統合するために高度に専門化された,またはカスタム設計のフレンズが必要です.漏れ防止と低排出の原則を遵守する.

掃除用フレンジの重要な考慮事項:

• 材料の純度:低不純度物質を使用して排出を最小限に抑える
• 表面塗装:高品質で滑らかな表面仕上げは,ガス吸着の表面面積を最小限に抑え,適切なガスケット座席を確保するために重要です.
• 清掃手順:フレンズを含む真空コンポーネントは,過酷な清掃プロセス (例えば,超音波清掃,電極磨き) を受けて,排出可能である汚染物質を除去します.
• ボルトリング:低排出ガス特性と適切な潤滑剤 (必要に応じて) を備えた真空対応のボルトとナッツが不可欠です.

結論として,目標は逆である (液体の代わりに空気を保持),真空システムにおける金属フレンジに対する要求は,圧力アプリケーションよりもさらに厳しいといえるでしょう.精密な設計が求められる 専門分野です最先端技術と科学の進歩に必要な正確な大気条件を達成し維持するために,材料の純度と絶対的な密度が極めて重要です.